簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "楊宏智".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="鈍化層厚度"


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    應用X-Ray量測技術研究薄膜應力特性與銅薄膜化學機械拋光製程之影響
    • 機械工程系 /98/ 碩士
    • 研究生: 林彥德 指導教授: 陳炤彰
    • 薄膜因具有結構微型化及與傳統塊材相異且特殊的物理及化學性質,因而被廣泛地應用於半導體、光機電工程等領域上,但是,薄膜材料當中的殘留應力會顯著的影響其材料性能,而在薄膜生長的製程及晶圓製造中針對表面加…
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